主要规格及技术指标 : 加速电压:0.1~30 kV;放大倍率:20~2000000;工作距离:1.8-40.0mm;电子枪:冷场发射电子源,支持柔性闪烁功能,包含阳极烘烤系统
主要功能及特色 : 配备样品台电子束减速,1 kV分辨率可达7Å,15kV达到6Å;
配备电子枪内置加热器,物镜光阑具有自清洁功能;
超高分辨观察性能:半内透镜物镜,保证分辨率;
SE与BSE可任意选择功能;
运用日立E×B技术
主要附件及配置 : X射线能谱仪(EDS);日立离子溅射仪(喷金仪);临界点干燥仪(EM CPD300)