主要附件及配置 : 分辨率: 3.0nm (30kV, SE image) 10nm(3KV,SE image)放大倍数:10x~300,000x(WD=5mm)加速电压: 0.5kV~30kV电子枪:三级自给偏压,偏压电阻,预对中发叉式钨丝阴极透镜系统: 三级电磁透镜 2 个聚光镜,一个园锥形物镜物镜光阑: 4 孔可变光阑,摇摆对中合轴图像电位移和电旋转: ±50 (WD: 10 ㎜); 0-360°样品室: 内径φ210mm ,可扩展接配EDS,BSE,WDS 等探测器样品台及行程:五轴手动机械对中样品台 X: 65 Y: 40 ㎜, Z: 5~65 ㎜, T: 20°~+90°, R: 360°㎜,最大样品尺寸:130mm(直径) X 71mm (高度)